多弧镀膜机的特点

　　多弧镀膜机的特点

　　多弧镀膜机的突出特点在于它能产生由高度离化的被蒸发材料组成的等离子体，其中离子具有很高的动能。蒸发、离化、加速都集中在阴极斑点及其附近很小的区域内。那么关于我们的多弧镀膜机的性能特点都有哪些呢?让我们一起来学习下吧。

　　(1)入射粒子能量高，涂层的致密度高，强度和耐久性好。

　　(2)离化率高，一般可达60%～80%。

　　(3)一弧多用，电弧既是蒸发源和离化源，又是加热源和离子溅射清洗的离子源。

　　(4)沉积速度快，绕镀性好。

　　(5)最显著的特点是从阴极直接产生等离子体。

　　(6)设备较为简单，采用低电压电源工作比较安全。

　　(7)多弧镀膜机的外加磁场可以改善电弧放电，使电弧细碎，细化涂层微粒，增加带电粒子的速率，并可以改善阴极靶面刻蚀的均匀性，提高靶材的利用率。