磁控溅射卷绕镀膜设备的优点
2021-02-26 来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 浏览次数:1656
磁控溅射卷绕镀膜设备，磁控溅射具有以下两大优点：提高等离子密度，从而提高溅射速度;减少轰击零件的电子数目，因而降低了基材因电子的升温。
因此，该技术在薄膜技术中占有主导地位。磁控溅射阴极的大缺点：使用平面靶材，靶材在跑道区形成溅射沟道，这沟道一旦贯穿靶材，则整块靶材即报废，因而靶材的利用率只有20-30%。
不过，目前为了避免这个缺点，很多靶材采用圆柱靶材形式，靶材利用率得以大幅度提高。
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