关于离子镀膜机的功能特性

　　关于离子镀膜机的功能特性

　　离子镀膜机的工作原理主要基于冷阴极真空弧光放电理论，点燃真空电弧后，阴极靶材表面上出现一些不连续、大小和形状多样、明亮的斑点,它们在阴极表面迅速地做不规则的游动,一些斑点熄灭时又有些斑点在其他部位形成，维持电弧的燃烧。阴极斑点的电流密度达104~105A/cm2,并且以1000m/s的速度发射金属蒸气，其中每发射10个电子就可发射1个金属原子,然后这些原子再被电离成能量很高的正离子(如Ti+),正离子在真空室内运行时与其他离子结合(如与N-形成TiN)，沉积在工件表面形成涂层。

　　离子镀膜机过程的突出特点在于它能产生由高度离化的被蒸发材料组成的等离子体，其中离子具有很高的动能。蒸发、离化、加速都集中在阴极斑点及其附近很小的区域内。

　　其中最显著的特点是从阴极直接产生等离子体，离化率高，一般可达60%～80%，入射粒子能量高，涂层的致密度高，强度和耐久性好。

　　离子镀膜机的沉积速度快，绕镀性好，设备较为简单，采用低电压电源工作比较安全。一弧多用，电弧既是蒸发源和离化源，又是加热源和离子溅射清洗的离子源。