关于真空镀膜机抽气慢问题解答

　　问题：前段时间买了一台真空镀膜机抽气很慢

　　补充：我司使用的是某厂的镀膜机，单扩散泵。现在的问题是抽气变的太慢了，放进半炉多的产品，要求是2.0-2，竟然要抽一个多小时，之前还有过2个多小时的!但换了产品满满一炉，抽到2.0-2要20分钟，比起别的炉子也多了5分钟左右，我已经用酒精做过漏气测试，没发现哪里漏气。不知道是什么问题，望高手解答!

　　网友解答：

　　1.从粗抽开始检查,如果抽的时间就长,那就是滑阀泵有问题,或是前面的管道有漏气,如果粗抽没问题就是扩散泵的事了,一般是清理泵腔换掉泵油,不过一般有时有些这样的问题都不是几句话可以讲清楚的,大家都知道如何检漏,可每次遇到的往往都是一点小事情,结果都花了很多的时间才能找到原因!

　　2.有两种可能,一种可能扩散泵油量不够,第二种可能内部电极或移动挡板在真空环境下有微漏水现象,这些都是要细心地检查,才可发现