真空镀膜设备如何减少真空镀膜中的灰尘?

2018-12-07  来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 浏览次数:505


  使用真空镀膜设备进行镀膜时,镀膜表面的一层灰尘会影响真空镀膜的整体效果,那么该如何减少灰尘呢?

  1.使用的源材料要符合必要的纯度要求。

  2.样品取出后放置环境要注意清洁的问题。

  3.镀膜一段时间后,真空室内壁必须要清洁处理。

  4.清洗衬底材料,必须要做到严格合乎工艺要求。

  5.工作人员有专门的服装,操作要戴手套、脚套等。

  6.适当的增加环境的湿度,有利于降低周围环境的悬浮固体颗粒物。

  7.技术上明确允许的颗粒尺寸和单位面积颗粒物的数量的上限大致是多少。

  8.室内空气流动性低、地面干净,如果是裸露的水泥地,需要覆盖处理。墙壁、屋顶不能使用一般的灰质涂料粉刷。

 


关键词: 真空镀膜设备           

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