磁控溅射镀膜常见毛病及解决办法

2020-11-11  来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 浏览次数:40

  磁控溅射镀膜常见毛病及解决办法

  1.无法起辉

  (1)直流电源毛病,查看直流电源;

  (2)氩气进气量小,查看氩气流量计或加大氩气进气量;

  (3)真空室清洁度不行,清洁真空室;

  (4)靶材绝缘度不行,查看靶是否与地短路,在通水的情况下,对地电阻应该在 50kΩ以上;

  (5)磁场强度不行,查看永磁体是否消磁;

  (6)真空度太差,查看真空体系。

  2.辉光不稳

  (1)电压电流不稳,查看电源;

  (2)真空室压力不稳,查看氩气进气量及真空体系;

  (3)电缆毛病,查看电缆是否连接良好。

  3.成膜质量差

  (1)基片外表清洁度差,清洁基片外表;

  (2)真空室清洁度差,清洁真空室;

  (3)基片温度过大或过小,查看温控体系,校准热电偶;

  (4)真空室压力过大,查看真空体系;

  (5)溅射功率设置不当,查看直流电源,设置何事的设定功率。

  4.溅射速率低

  (1)氩气进气量过大或过小,调查辉光色彩可以判定氩气是过大仍是过小,据此调整氩气进气量;检修流量计;

  (2)靶材过热,查看冷却水流量;

  (3)查看永磁体是否消磁。

关键词: 磁控溅射镀膜           

肇庆市高要区恒誉真空技术有限公司主要产品有:手机镀膜机,光学镀膜机,塑料镀铝机,PVD镀膜机,光学镜片镀膜机,钛金炉,多弧镀膜机,pvd真空电镀,离子镀膜机,镀钛机,陶瓷镀膜机,溅射镀膜机,卷绕镀膜机,真空镀膜机,镀膜机,离子镀,真空电镀机,真空镀膜设备等系列。


CopyRight © 版权所有: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 技术支持:诚一网络 网站地图 XML 备案号:粤ICP备18060884号-1


扫一扫访问移动端