蒸发镀膜机厂家讲解化合物的蒸镀
2017-10-25 来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 浏览次数:1441
蒸发镀膜机厂家讲解化合物的蒸镀
化合物的蒸镀方法有3种：直接蒸镀法、反应蒸镀法和双蒸发源蒸镀法。
在使用直接蒸镀法时，化合物可能发生如下变化：化合物的组成不发生变化r可以直接沉积得到化合物薄膜;加热时，化合物分解形成含有多种气相成分的蒸气，沉积时得到的是某些气相成分的薄膜;化合物加热时分解，得不到薄膜，前两种情况均可以制取化合物薄膜，但是在应用时，应注意加热温度条件，因为某些情况下，加热温度不同，各种气相成分的组成不同，获得的薄膜也就不同。
反应蒸镀法是在充满活性气体的条件下，蒸发固体材料，使之在基片上进行反应获得化合物薄膜的方法。这种方法净常用于镀制高熔点化合物薄膜。
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