小型高真空有机金属蒸发镀膜机

　　小型高真空有机金属蒸发镀膜机

　　广泛应用于高校、科研院所制备功能薄膜、蒸镀电极、扫描电镜制样等，特别适合太阳能电池、有机EL、LED显示管研究与开发领域。

　　主要特点/优势：

　　完全封闭的系统框架设计，外观更漂亮，使用更安全;是一台兼具美学和用户操控体验的全新升级产品;

　　前开门真空腔体，方便取放基片、更换蒸发舟、添加蒸发材料以及真空室的日常维护;

　　复合分子泵和直联旋片泵，大抽速准无油真空系统(分子泵抽速≥400L/S);

　　两组水冷式蒸发电极，可长时间稳定工作，兼容金属材料与有机材料的蒸发源设计;

　　专业真空蒸发电源，数显工作电流和电压，恒流输出;

　　可镀110mm方形基片或15～25mm ITO/FTO玻璃25片，可定制一体化高精度刻蚀掩膜板;

　　衬底可选择加热或水冷，源基距≥300mm;

　　良好的薄膜均匀性和重复性，可在线监测和控制蒸发速率、膜厚;

　　可沉积金属(Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等)、非金属、化合物(MoO3, LiF等)及有机物材料，可拓展沉积单层膜、多层膜及混合膜;

　　设备集成度高，结构紧凑，占地面积小(0.92平米);设备配脚轮，方便移动和定位。