光学镀膜机的维护保养要注意哪些

　　光学镀膜机的维护保养要注意哪些

　　现在我们的光学镀膜机维护与保养主要包换电子枪安装与维护、光路的检修与维护、设备的清洗与保养。

　　那么光学镀膜机的电子枪安装与维护有哪些呢?

　　电子枪控制电柜内含有高压，在工作前必须保证柜门各个联锁装置正常工作，非专业人员不得打开电柜门，电子枪在工作时不得打开电柜门，整个电柜必须有良好的接地并与机台接地连接。

　　电子枪蒸发源安装在真空室底板上，必须与底板有良好的接地效果，安装蒸发源必须使用不锈钢螺丝来固定，周边200mm以内不得有导磁的物体，否则会影响到电子枪的光斑成表，造成电子性能的不良。电子枪档板应尽量装在蒸发源坩埚的中心上30mm处，以不影响电子束的发射为好。

　　电子枪蒸发源是一个精密机械加工体，在工作时必须保证有良好的冷却水，如过高的温度会影响电子束的成型及各密封圈的性能。

　　(一)电子枪头

　　电子枪的枪头安装好坏直接影响到工作的正常进行，其发生的故障有90%同电子枪枪头有关。电子枪枪头有使用一段时间后，会因为组件的污染而影响电子束的成型及功率，需要拆卸清洁。

　　(二)导磁板及扫描圈的维护

　　导磁板及永磁铁是不需要经常拆卸维护，如需拆卸，请注意永磁铁的极向，及导磁板的方向。线圈由于安装的空间密实，请不要使用硬尖的东西撬动，否则有可能会造成损坏。

　　(三)坩埚的维护

　　拆坩埚之前，请先关掉水路用压缩空气把电子枪冷却管内的水分尽可能吹干净。