真空镀膜机的维护步骤?
2018-11-02 来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 浏览次数:1267
日常生活中,我们使用真空镀膜设备都会维护,但是很多人维护的方法都很不对,也不按照步骤来拆卸和安装真空镀膜机,今天我们就来介绍下真空镀膜机的维护步骤吧:
首先我们要保证镀膜机与地面充分接触,扩散泵和油增压泵加热前必须接通冷却水并开维持泵。扩散泵和增压泵停止工作,维持泵半小时后才能关,1小时后断水,但泵内未冷却至80℃以下时,不得切断冷却水,以防止泵芯烧毁。
扩散泵和增压泵各留有备用水出口,若镀膜机故障或停电必须开备用出口让其冷却扩散泵和增压泵,镀膜工作前必须接通全部设备冷却进水,以防止电极和基体材料烧毁。扩散泵和油增压泵在加热情况下,切勿与大气接触,以免泵油氧化,定期检查和调整水流继电器,检查断水报警是否正常,保证设备冷却水供水畅通,在拆装镀膜机各机件时,应注意保护各密封工作面不受机械划伤或损伤,以保证镀膜机密封性能可靠。
设备各传动转轴真空密封处均采用“骨架式油封”密封形式,骨架式油封内间均充以饱和油蒸汽压很低的真空油脂和扩散泵油。使用一段时间即会损耗,必须以相同的真空油脂和扩散泵油充入,决不能用其他油品代替。