真空镀膜的过程中潮斑形成的原因
2020-01-08 来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 浏览次数:970
真空镀膜的过程中有时会产生喷点及潮斑(花斑)，这些喷点、潮斑(花斑)大的影响了薄膜的品质，降低产品的合格率。本文将对喷点、潮斑(花斑)的形成原因作一探讨。
潮斑形成的原因:
1、清洗液配比不好,含有较多水份,清洗后工件表面留有残迹,镀膜后形成花斑。
2、镀制两个面以上的工件时,一面镀制完成,清洗第二面时,镀制完的一面受到污染,在第二面镀膜后形成花斑。
3、工件本身含有的水份(工件白片制作过程细解),在蒸镀前的烘烤过程中逸出,蒸镀后形成潮斑。
4、镀膜夹具在烘烤过程中会有水汽以及其它废气排出,蒸镀后在工件表面形成潮斑且对镀膜后的光学特性产生影响。
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