真空镀膜的过程中喷点形成的原因
2020-01-08 来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 浏览次数:1207
真空镀膜的过程中有时会产生喷点及潮斑(花斑)，这些喷点、潮斑(花斑)影响了薄膜的品质，降低产品的合格率。本文将对喷点、潮斑(花斑)的形成原因作一探讨。
一、喷点形成的原因
镀膜过程中产生喷点主要有以下几种原因:
1、镀膜材料纯度不高，含杂质较多,预熔过程中无法将这些杂质去除,蒸镀过程中杂质溅上工件表面形成喷点。
2、材料较为潮湿,预熔时电子枪光斑不能将表面的材料全部熔化,在蒸镀过程中也容易产生喷点(这种情况在用国产电子枪镀制MgF2及一些直接升华的材料时较易发生)。
3、镀膜前对材料进行预熔时不够充分,蒸镀过程中材料里的细小颗粒溅上工件表面形成喷点。
4、镀膜过程中,电子枪束流过大引起的材料飞溅产生的喷点。
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