真空镀膜的过程中喷点形成的原因

2020-01-08  来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 浏览次数:486


  真空镀膜的过程中有时会产生喷点及潮斑(花斑),这些喷点、潮斑(花斑)影响了薄膜的品质,降低产品的合格率。本文将对喷点、潮斑(花斑)的形成原因作一探讨。

  一、喷点形成的原因

  镀膜过程中产生喷点主要有以下几种原因:

  1、镀膜材料纯度不高,含杂质较多,预熔过程中无法将这些杂质去除,蒸镀过程中杂质溅上工件表面形成喷点。

  2、材料较为潮湿,预熔时电子枪光斑不能将表面的材料全部熔化,在蒸镀过程中也容易产生喷点(这种情况在用国产电子枪镀制MgF2及一些直接升华的材料时较易发生)。

  3、镀膜前对材料进行预熔时不够充分,蒸镀过程中材料里的细小颗粒溅上工件表面形成喷点。

  4、镀膜过程中,电子枪束流过大引起的材料飞溅产生的喷点。

关键词: 真空镀膜           

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