磁控镀膜机膜色出现差异原因及改善对策

　　磁控镀膜机膜色出现差异原因及改善对策

　　膜色差异有二种(不包含色斑)，一种是整罩上、中、下膜色不一致，即分光测试曲线有差异;二是单片膜色不一致。

　　1.上中下膜色不一致称为整伞(罩)均匀性不好，也称有伞差。主要产生原因是均匀性修正板(补正板)有问题。

　　2.伞片变形。也是膜色不匀的原因之一，特别是使用了较久的伞片，以往是均匀的，慢慢变得不均匀了，伞片变形就可能是主要原因了。

　　3.膜料状况的不一致，特别是升华和半升华膜料被打偏，挖坑等也会严重影响整罩和单片的均匀性。特别是有大量手工预熔时，各人的操作手法不一，得到的料况也会不一。

　　改善思路：充分采用修正板的功能。

　　改善对策：

　　㈠ 调整修正板，尽量考虑高低折射率膜料的平衡兼容，如果有二个蒸发源，可能的条件下，独立使用各自的修正板，避免干扰。

　　㈡ 条件许可，采用行星夹具。

　　㈢ 伞片整形，对伞片整形可以先加工一个R基模(选择强度较高的原材料)，在基模上对伞片整形。为防止减少伞片变形，在伞片订购时对伞片的厚度、原材料选择要合适。

　　㈣ 加强伞片管理，特别是摆放时的管理，防止因摆放不当而变形。

　　㈤ 改善膜料状况，特别是电子枪蒸镀升华、半升华材料时，不能把膜料打塌，挖坑。

　　㈥ 能够自动预熔的膜料，尽量自动预熔，减少人为因素影响。

　　修正板对物理膜厚的修正很有效，但对折射率的修正是力不从心的，所以完全靠修正板解决分光均匀性，是很困难的。

　　如果一个修正板要对应二把电子枪(蒸发源)、以及多种膜料，就会有较大的困难。

　　对于单片膜色不均匀产生的原因：

　　主要是由于基片凹凸严重，与伞片曲率差异较大，基片上部、或下部法线与蒸发源构成的蒸发角差异较大。造成一片镜片上各部位接受膜料的条件差异大，形成的膜厚差异大。

　　另外镜片被镜圈(碟片)边缘部遮挡、镜圈(碟片)脏在蒸镀时污染镜片等等也会造成膜色差异问题。

　　改善思路：改善镜片边缘的蒸发角。

　　改善对策：

　　㈠ 条件许可，用行星夹具;

　　㈡ 选用伞片平坦(R大)的机台;

　　㈢ 根据伞片孔位分布，基片形状，制作专门的锯齿形修正板。

　　㈣ 如果有可能，把蒸发源往真空室中间移动，也可改善单片的膜色均匀性。

　　㈤ 改善镜圈(碟片)，防止遮挡。

　　㈥ 注意旋转伞架的相应部位对边缘镜片的部分遮挡

　　㈦ 清洁镜圈(碟片)

　　㈧ 改善膜料蒸发状况。