光学镀膜机对于单片膜色不均匀产生的原因

2020-11-28  来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 浏览次数:474

  光学镀膜机对于单片膜色不均匀产生的原因

  光学镀膜机主要是由于基片凹凸严重,与伞片曲率差异较大,基片上部、或下部法线与蒸发源构成的蒸发角差异较大。造成一片镜片上各部位接受膜料的条件差异大,形成的膜厚差异大。

  另外镜片被镜圈(碟片)边缘部遮挡、镜圈(碟片)脏在蒸镀时污染镜片等等也会造成膜色差异问题。

  改善思路:改善镜片边缘的蒸发角。

  改善对策:

  ㈠ 条件许可,用行星夹具;

  ㈡ 选用伞片平坦(R大)的机台;

  ㈢ 根据伞片孔位分布,基片形状,制作专门的锯齿形修正板。

  ㈣ 如果有可能,把蒸发源往真空室中间移动,也可改善单片的膜色均匀性。

  ㈤ 改善镜圈(碟片),防止遮挡。

  ㈥ 注意旋转伞架的相应部位对边缘镜片的部分遮挡

  ㈦ 清洁镜圈(碟片)

  ㈧ 改善膜料蒸发状况。

关键词: 光学镀膜机           

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