多弧离子镀膜机几种排气方法
2020-12-16 来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 浏览次数:1703
多弧离子镀膜机的抽真空通常采用下面几种排气方法：单纯排气工艺、抽空加热排气工艺、空气预加热排气工艺。
多弧离子镀膜机单纯排气工艺的方法是，真空离子镀膜机的真空室从大气压、常温开始用机械泵抽空到15Pa后，再加高真空扩散泵进行抽气，一直到放气量降低到允许范围。
这是一种简单、普通的获得高真空的排气方法。用于真空离子镀膜机当中的话，抽气效果极差，不仅抽气时间需要特别长，而且吸附剂无法得到再活化。因此，单纯排气工艺仅仅适用于不能加热的多层绝热量热器的真空容器的排气
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