浅析真空镀膜机的原理

　浅析真空镀膜机的原理

　　真空镀膜机是目前制作真空条件应用为广泛的真空设备，一般用真空室、真空机组、电气控制柜三大工作原理。

　　真空主题--真空腔根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用多的有直径0.9M、1.3M，1.5M、1.8M等，腔体由不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有链接阀，用来链接各抽气泵浦。

　　辅助抽气系统：排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成，此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold组成”。

　　排气流程为：机械泵先将真空腔抽至2.0*10-2pa左右的低真空状态，为扩散泵后续抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，已这样的方式完成抽气动作。