浅析真空镀膜机的原理

2020-12-28  来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 浏览次数:194

 浅析真空镀膜机的原理

  真空镀膜机是目前制作真空条件应用广泛的真空设备,一般用真空室、真空机组、电气控制柜三大工作原理。

  真空主题--真空腔根据加工产品要求的各异,真空腔的大小也不一样,目前应用多的有直径0.9M、1.3M,1.5M、1.8M等,腔体由不锈钢材料制作,要求不生锈、坚实等,真空腔各部分有链接阀,用来链接各抽气泵浦。

  辅助抽气系统:排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成,此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold组成”。

  排气流程为:机械泵先将真空腔抽至2.0*10-2pa左右的低真空状态,为扩散泵后续抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,已这样的方式完成抽气动作。

关键词: 真空镀膜机           

肇庆市高要区恒誉真空技术有限公司主要产品有:手机镀膜机,光学镀膜机,塑料镀铝机,PVD镀膜机,光学镜片镀膜机,钛金炉,多弧镀膜机,pvd真空电镀,离子镀膜机,镀钛机,陶瓷镀膜机,溅射镀膜机,卷绕镀膜机,真空镀膜机,镀膜机,离子镀,真空电镀机,真空镀膜设备等系列。


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