真空镀膜机自动化操作系统功能介绍

　　真空镀膜机自动化操作系统功能介绍

　　1. 根据权限不同，限制相应的操作限制，最大限度的保证设备的正常运转和安全操作，以及工艺的稳定性和连续性。

　　2. 整个系统的操作、控制、显示集中在一起，便于实时的观察设备的运行，及时掌握设备的动态情况。

　　3. 镀膜过程的参数有实时记录，并自动储存，以历史记录方式可查，以便事后分析和改进工艺。

　　4. 工艺过程中对主要参数有实时曲线视觉，并有历史曲线可查(存盘期可达5年)。

　　5. 由工控机设定工艺总流程并执行，分时段逐序执行设定的工艺参数。

　　6. 工控机能够设定控制3/4路气体所需的所有工艺参数，并自动执行所设定的参数。

　　7. 工控机能够设定所有电源的工作参数(如恒功率或恒流控制模式的设定，功率大小和电流大小等参数的设定)，并全自动执行所设定的参数。

　　8. 独立的手动操作系统，可与自动系统任意切换。