真空镀膜设备长时间运行后的维护要点

　　真空镀膜设备必须要冲入大气，拆去连接水管，将一级喷嘴拧出来，再用汽油将泵腔以及泵胆清洗一下，再使用洗衣粉兑清水再清洗一次，待水份挥发干后，装好泵胆，重新加入新扩散的泵油并装回机体重新开机。真镀膜设备在重新开机时要特别注意捡漏工作，先观察扩散泵部分是否达到6*10PA，否则需要进行检漏。检查连接处是否密封，或压坏密封圈。排除漏气隐患后才可以加热，否则扩散泵油会烧坏导致无法进入到工作状态。

　　当真空镀膜设备抽泵连续工作一个月的时候，我们需要重新更换新油，将泵油内的旧油完全排放出来然后加入新的泵油至量。连续使用半年以上，再将真空泵油时应该将油盖打开，用布擦拭箱内的污垢。真空镀膜设备厂家介绍检查漏气情况是保证真空镀膜设备真空度的一项检查措施，真空度高低是直接影响镀膜效果的，所以检漏是必不可少的。

　　一般真空室内漏气都是从室壁上的小孔或者部件之前的链接位细缝中产生，当抽风系统抽气后使真空室内压力下降，外部与内部的压力使气体从压力高的外部流向压力低的真空室，造成真空度下降。为真空镀膜设备做好检漏工作是很重要的，造成真空度下降的原因很多，所以要解决这些原因稳定镀膜的效果。