真空镀膜设备该如何进行维修和保养?

2019-05-22  来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 浏览次数:189


  在使用真空镀膜设备时,每完成200个镀膜程序以上,就应该要用烧碱(NaOH)饱和溶液来清洗设备,烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,(   注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。每完成200个镀膜程序,就应该清洁工作室一次。在当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),也需要更换新油。拧开放油螺栓,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。当扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢。扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。然后在,启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕,否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,

  否则扩散泵油会烧环,无法进入工作状态。

  以上是在使用真空镀膜机期间,比较常见的一些维修保养的问题,大家学会了,后期机器出现了类似的问题,可以知道具体是因为什么原因引起的,也能找到正确的方法及时处理和解决


关键词: 真空镀膜设备           

肇庆市高要区恒誉真空技术有限公司主要产品有:手机镀膜机,光学镀膜机,塑料镀铝机,PVD镀膜机,光学镜片镀膜机,钛金炉,多弧镀膜机,pvd真空电镀,离子镀膜机,镀钛机,陶瓷镀膜机,溅射镀膜机,卷绕镀膜机,真空镀膜机,镀膜机,离子镀,真空电镀机,真空镀膜设备等系列。


CopyRight © 版权所有: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 技术支持:诚一网络 网站地图 XML 备案号:粤ICP备18060884号-1


扫一扫访问移动端