浅析磁控镀膜机磁控溅射镀膜靶电源的空载电压影响因素

2020-09-16  来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 浏览次数:454

  浅析磁控镀膜机磁控溅射镀膜靶电源的空载电压影响因素

  (1) 靶电源输出的空载电压主要供磁控靶“点火起辉”用,其峰值电压大体可分为三挡,即:800V-1KV-1.2(或1.3)KV左右。

  (2) 大约在5KW以下的靶电源输出空载电压的峰-峰值Vp-p一般在1~1.3KV左右;5KW以上的靶电源其输出的空载电压的峰-峰值Vp-p大约在800~1KV;且电源功率越大, 其输出的空载电压越接近偏小值。

  (3) 铁磁性靶材(铁、钴、镍、氮化铁)以及其它铁素体靶材,在选用靶电源输出的空载电压时,须选择靶电源输出空载电压峰-峰值Vp-p范围的偏大数值。

关键词: 磁控镀膜机           

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