有关真空镀膜机的选购要素

　　有关真空镀膜机的选购要素

　　1、真空镀膜机选购主要根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备，其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。

　　2、其系统由机械泵、扩散泵、增扩泵、油增压泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。

　　3、真空镀膜机的夹具运转形式有自转、公转及公转 自转方式，用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求，转动的速度范围及转动精度：普通可调及变频调速等。

　　4、根据真空镀膜机设备使用特点，可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。

　　5、真空镀膜机的充气方式可选用质量流量计、浮子流量计 针阀及相应的充气阀门，并可选择多路充气管路及相应流量参数。

　　6、根据工艺要求选择镀制方式及形式，真空镀膜机的真空测量可选择数字式智能真空计及其优质的测量规管，及其它测量仪器。膜厚测量可选用方块电阻测量仪，透过率计等。