浅析真空镀膜机镀膜工艺的时候该如何调试和掌控均匀性

2019-05-22  来自: 肇庆高要区恒誉真空技术有限公司 浏览次数:269


 真空镀膜机需要先测试设备的抽真空速度,在测试过程中检查漏气情况与各真空泵的性能;然后再测试设备的密封性能,就是抽到极限后保压1小时看压降是否达标,同时排除细小的漏孔;第三步,产品试作,检验其他的性能,比如传动、加热、绝缘等等;如果有工艺保证的话就继续打样并作测试;并且所有的测试应作记录,并有记录人签字以及有使用部门或工程部门的人确认签字即可。对于不同原理的真空镀膜,影响均匀性的因素也不尽相同。并且均匀性这个概念本身也会随着镀膜尺度和薄膜成分而有着不同的意义。

  在光学薄膜的尺度上看,真空镀膜的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内。原子层尺度上的均匀度,也就是说要实现10A甚至1A的表面平整,是现在真空镀膜中主要的技术含量与技术瓶颈所在对于多弧离子镀膜机的光学特性来说,真空镀膜没有任何障碍。镀膜中化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性,那么实际表面的组分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,镀的膜并非是想要的膜的化学成分,这也是真空镀膜的技术含量所在。对于晶格有序度的均匀性,这决定了薄膜是单晶,多晶,非晶,是真空镀膜技术中的热点问题

关键词: 真空镀膜机           

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